Akú úlohu zohrávajú fluórpolymérové výmenníky pri recyklácii vysoko{0}}čistej vody pre polovodičové materiály?
Zanechajte správu
Polovodičové továrne používajú veľké množstvo ultračistej vody (UPW). Recyklácia procesnej vody je ekonomická a environmentálna potreba, ale výmenníky tepla v recyklačnom okruhu nesmú ohroziť kvalitu vody. Kontaminácia systému UPW môže byť spôsobená jediným kovovým iónom a ovplyvniť kvalitu doštičiek a celého výrobného procesu. Fluórpolymérové výmenníky tepla sú nevyhnutné na udržanie čistoty týchto systémov s vysokou -čistou vodou a zabraňujú opätovnému vnášaniu iónov alebo častíc do procesu recyklácie.
Prečo je recyklácia UPW dôležitá pri výrobe polovodičov
UPW sa široko používa pri výrobe polovodičov na čistenie, chladenie a umývanie doštičiek. Tieto procesy sú náročné na vodu, takže továrne majú recyklačné cykly na regeneráciu a opätovné použitie vody, čím sa znižujú náklady a vplyv na životné prostredie. Oplachová voda z čistenia plátkov sa zhromažďuje, filtruje a vracia do systému. Regenerovaná voda však často potrebuje ohrev alebo chladenie, aby splnila požadované procesné podmienky na opätovné použitie, napríklad pred opätovným-leštením alebo ďalším čistením.
Poslednou líniou obrany proti kontaminácii v tejto recyklačnej slučke sú výmenníky tepla. Cestou musia udržiavať čistú vodu, takže sa späť do systému nevyplavujú žiadne kovové ióny alebo častice, ktoré by mohli ovplyvniť merný odpor vody a spôsobiť kontamináciu v ďalších výrobných krokoch.
Použitie fluórpolymérových výmenníkov tepla
Udržiavanie čistoty v recyklačnom cykle
Fluórpolymérové výmenníky tepla sú skonštruované tak, aby vyhovovali prísnym požiadavkám na recykláciu-vysokočistej vody v polovodičových továrňach. Výber materiálov PFA (perfluóralkoxy) a PTFE (polytetrafluóretylén) je založený na ich chemickej odolnosti a inertnosti, ktoré sú vhodné na zabránenie akémukoľvek vylúhovaniu kontaminácie do regenerovanej vody. Tieto materiály sú úplne inertné a neuvoľňujú kovové ióny ani častice do vody, čo je dôležité na udržanie 18 megaohm-centimetrového odporu vyžadovaného normami pre polovodičový priemysel.
Výmenníky tepla v recyklačnom okruhu sú všetky -PFA alebo PTFE plášťové-a-rúrkové výmenníky, takže poskytujú povrch bez kovu-, ktorý neovplyvňuje kvalitu vody. To zaisťuje, že regenerovaný UPW spĺňa prísne špecifikácie SEMI F63, ktoré definujú požiadavky na čistotu vody používanej pri výrobe mikroelektroniky.
Výhody fluoropolymérových výmenníkov
Inertnosť a chemická kompatibilita Fluórpolymérové výmenníky sú odolné voči širokému spektru chemikálií a kyselín bežne používaných v polovodičových operáciách. Ich odolnosť voči agresívnym chemikáliám bez poškodenia pomáha zachovať kvalitu UPW počas celého procesu recyklácie.
Nulové uvoľňovanie iónov alebo častíc: Fluórpolymérové výmenníky nevylúhujú kovové ióny ani neuvoľňujú častice, čo je dôležité pre systémy s vysokou{0}}čistou vodou, ktoré vyžadujú ultra-nízke úrovne kontaminácie iónmi a časticami. Táto funkcia zaisťuje udržiavanie odporu vody na ideálnej úrovni.
Odolnosť Fluórpolyméry sú trvanlivé a -odolné voči korózii a poskytujú-dlhodobú spoľahlivosť výmenníkov tepla v polovodičových továrňach. Nedochádza ku korózii, preto zariadenie vydrží dlhšie a vyžaduje menej častú údržbu, čo je dôležité pre efektívnosť recyklačných systémov.
Požiadavky na čistotu pre polovodičové UPW systémy
Voda používaná v továrňach na výrobu polovodičov musí byť mimoriadne vysokej kvality. Odpor vody by mal byť väčší ako 18 megaohm-centimetrov a mala by sa minimalizovať kontaminácia iónmi a časticami. Podľa normy SEMI F63 pre mikroelektroniku voda musí byť bez rôznych nečistôt a kovových iónov, ktoré by mohli narúšať proces výroby polovodičov.
Fluórpolymérové materiály odolávajú vylúhovaniu kovových iónov a častíc, vďaka čomu sú fluórpolymérové výmenníky tepla zlatým štandardom na udržanie týchto úrovní čistoty vo vodných systémoch s vysokou{0}}čistotou.
Požiadavky na čistotu
Čistota UPW je kritická v polovodičových továrňach. Voda musí spĺňať tieto požiadavky:
Odpor: väčší alebo rovný 18 megaohm-cm
Celkový organický uhlík (TOC):<50 parts per billion
Počet častíc Obmedzenia veľkosti častíc (napr. väčšie alebo rovné 0,1 µm) sú prísne
Iónová kontaminácia: Stopové množstvá kovových iónov, ako je sodík, draslík a vápnik, musia byť regulované.
Fluórpolymérové výmenníky tepla sú základom pre splnenie týchto požiadaviek, pretože ponúkajú úplne inertný kontakt medzi teplonosnou kvapalinou a vodou s vysokou čistotou. Zabraňujú kontaminácii recykláciou fáz ohrevu a chladenia, ktoré udržujú vodu čistú.
Zhrnutie
V polovodičových továrňach sú fluórpolymérové výmenníky tepla životne dôležité pre systémy recyklácie vody s vysokou -čistou vodou. Výmenníky zabraňujú kontaminácii kovových iónov a častíc, takže recyklovaná ultračistá voda môže spĺňať veľmi náročné štandardy odporu a čistoty. Fluórpolymérové výmenníky pomáhajú udržateľnosti pri výrobe polovodičov, pričom zachovávajú kvalitu vody nedotknutú, takže továrne môžu recyklovať vodu bez toho, aby to ovplyvnilo integritu ich procesov. Rastúci rozsah výroby polovodičov bude len viesť k ďalšiemu dopytu po vysoko{4}}výkonných systémoch hospodárenia s vodou. Výber správnych materiálov pre výmenníky tepla je dôležitým faktorom pri udržiavaní dlhodobej-účinnosti a čistoty systému.
