Pravdepodobnosť nanesenia Al filmu na substrát vákuového nanášacieho zariadenia je rovnaká

Pravdepodobnosť nanesenia Al filmu na substrát vákuového nanášacieho zariadenia je rovnaká

Používa sa odparovanie elektrónového lúča vákuového lakovacieho stroja, planétový mechanizmus sa rovnomerne otáča pri ukladaní filmu a pravdepodobnosť každého substrátu pri ukladaní Al filmu je rovnaká; ohnisko planetárneho mechanizmu je na zdroji odparovania téglika a rýchlosť ukladania každého substrátu je pod určitým stupňom vákua. takmer rovnaké. Použitím metódy magnetrónového naprašovania vákuového poťahovacieho stroja, pretože depozičný prúd a cieľové napätie je možné regulovať, to znamená, že naprašovací výkon je možné nastaviť a ovládať, ovládateľnosť a opakovateľnosť hrúbky filmu je dobrá a dá sa použiť na väčšie plochy. Získal sa film s rovnomernou hrúbkou.

Hrúbka Al filmu vákuového lakovacieho stroja priamo ovplyvní ďalšie vlastnosti Al filmu

Je veľmi dôležité prísne kontrolovať hrúbku Al filmu, pretože hrúbka Al filmu priamo ovplyvní ďalšie vlastnosti Al filmu, čím ovplyvní spoľahlivosť polovodičového zariadenia. Pre vysokotlakovú výkonovú trubicu je jej pracovné napätie vysoké a prúd je veľký. Bez určitej hrúbky kovového filmu bude prúdová hustota na Al fólii na jednotku plochy príliš vysoká, čo sa ľahko spáli. V prípade všeobecných polovodičových súčiastok platí, že ak je vrstva Al príliš tenká, je kontinuita filmu zlá a má ostrovčekovú alebo sieťovú štruktúru, čo sťažuje spájanie vodičov, sťažuje alebo slabo spája, čo ovplyvňuje výnos; vrstva Al Ak je príliš hrubá, vzor počas fotolitografie nie je jasne viditeľný, čo sťažuje koróziu a je náchylné na koróziu okrajov a fenomén „spojenia“.

www.superbheater.com