Miniaturizácia senzorov a technológia čipov

Mikroelektromechanický systém (MEMS) je mikro-systém alebo zariadenie, ktoré integruje mikro-mechanizmy, mikro-senzory, mikro-aktivátory, riadiace obvody, spracovanie signálu, komunikácia, rozhrania, napájacie zásoby atď. Je to technológia na navrhovanie, spracovanie, výrobu, meranie a riadenie mikro/nano materiálov.

Technológia MEMS zahŕňa: technológiu mikromeónov kremíka, hlboké reaktívne leptanie iónov, technológia LIGA, technológia molekulárnej montáže, hromadné mikromachinovanie, povrchové mikromachinovanie, laserové mikromechinovanie a technológiu mikropaľby.

Technológia kremíka mikromachiningu je hlavnou technológiou MEMS. Je to presná trojrozmerná technológia spracovania. Je to technológia na vývoj senzorov, mikro-rektorov, mikro-rektorov a mikro-mechanických systémov. Úspešne sa používa na výrobu rôznych mikro-senzorov a multifunkčných citlivých prvkov. Ako sú mikro-špinavé kapacitné senzory, snímače toku hmotností mikro-sikronu, dynamické senzory a mikroenzory pre letecký priestor, snímače automobilového tlaku a zrýchlenia, mikro-chemické senzory na ochranu životného prostredia atď.

Integrácia technológie senzorových polí a kompozitov parametrov s viacerými snímkami

Integrácia sa vzťahuje na integráciu viacerých snímačových funkcií s spracovaním údajov, ukladaním, obojsmernou komunikáciou atď., Ako je tlak, statický tlak, teplota trojstranného snímača; tlak vzduchu, veterná sila, teplota, vlhkosť štvor premenlivý senzor; Senzor tlaku mikro kremíka a snímač tlaku poľa atď. Všetky používajú integračnú technológiu. Proces integrácie a integrovaný výrobný proces integrovaného mikroštruktúry kompozitného snímača, ako je tlak, statický tlak, teplota trojstranného snímača, tlak vzduchu, veterná sila, teplota, vlhkosť, štvor premenný senzor, senzor tlaku kompozitu mikro kremíka, senzor tlaku v poli.

Existujú dva typy integrácie snímača: jedným je zostaviť viacero modulov senzorov na čipe prostredníctvom technológie mikro-machinovania za vzniku lineárneho senzora (napríklad snímača obrazu CCD); Druhým je vytvoriť citlivé komponenty s rôznymi funkciami na rovnakom kremíkovom čipe, aby sa vytvoril integrovaný multifunkčný senzor s vysokou integráciou, malú veľkosť a ľahkú kompenzáciu a korekciu.