| Polovodičový priemysel|Presná regulácia teploty a vlhkosti: základný kameň procesného inžinierstva, riešenia regulácie teploty pre polovodičové technologické zariadenia!

Sep 04, 2026

Zanechajte správu

Kolísanie výťažku litografie?

Nedostatočná jednotnosť vývoja?

Odchýlky presnosti expozície?

Vysoko presná{0}}regulácia teploty a vlhkosti THC

je kľúčom!

S rastúcimi požiadavkami na kontrolu teploty zariadení na výrobu polovodičov spoločnosť ORION využíva svoje odborné znalosti a rozsiahle skúsenosti na poskytovanie vysoko{0}}precíznych riešení THC zákazníkom na celom svete.

Spoločnosť ORION sa už mnoho rokov venuje výskumu, vývoju a výrobe vysokokvalitných -zariadení na reguláciu teploty, ktoré slúžia viacerým odvetviam, pričom obzvlášť silné zastúpenie má v oblasti zariadení na výrobu polovodičov. Tentoraz uvádzajú na trh produkty na riadenie teploty kvapalín a plynov pre procesy výroby polovodičov, ktoré sa vyznačujú -bez fluóru, sú miniaturizované a s vysokou- presnosťou.

Vlastnosti lineárnej regulácie prúdu pre Peltierove prvky

Využitím lineárnej regulácie prúdu Peltierových prvkov sa dosahuje úspora energie, presnosť a odolnosť.

Vlastnosti produktu ORION

Až 60 % úspora energie v porovnaní so súčasným ZAPNUTÝM-OFF

Vyššia presnosť ovládania v porovnaní so súčasným ZAP -OFF

Predĺžená životnosť Peltierových článkov vďaka zníženej teplote a elektrickému namáhaniu (kolísanie)

Používa Peltierove prvky odolné voči tepelnému namáhaniu- (chemické Peltierove prvky)

Funkcia displeja (zobrazenie aktuálneho výstupu Peltierovho prvku) pomáha optimalizovať nastavenia PID, čím sa predlžuje životnosť Peltierových prvkov (chemický Peltier).

V porovnaní s prevádzkou ON-OFF sa toto zariadenie môže pochváliť dlhšou životnosťou.

01 Presný regulátor teploty radu ETN·ETDM pre chemické roztoky

- Peltierov typ -

[obrázok]
Presnosť ovládania teploty: ±0,1 stupňa

Rozsah regulácie teploty: 5 ~ 60 stupňov

Chladiaci výkon: 250~950 W

Vykurovací výkon: 500~2000W

Kontrolované kvapaliny: Chemické roztoky a ultračistá voda

Príklady použitia: Čistiace zariadenia (leptanie, čistenie plátkov, čistenie CMP)

Vďaka použitiu plného teflónového výmenníka tepla v oblasti kontaktu s kvapalinou je možné priamo regulovať teplotu chemického roztoku. Pre podrobné informácie kontaktujte prosím obchodné zastúpenie.

Rúrkový výmenník tepla

Doskový výmenník tepla

Vysoko presný{0}}regulátor teploty kvapaliny radu ETU

- Peltierov typ -

Obrázok
Presnosť ovládania teploty: ±0,03 stupňa

Rozsah regulácie teploty: 10 ~ 60 stupňov

Chladiaci výkon: 200~1400 W

Vykurovací výkon: 400~2000W

Kontrolovaná kvapalina: Čistá voda, čistá voda, vodný roztok etylénglykolu

Príklady použitia: Regulácia teploty pre nanášacie a vyvolávacie stroje, zariadenia na elektrónovú litografiu, expozičné zariadenia a riadenie teploty umiestňovacej platformy.

Prispôsobenie:

① Vysoká{0}}presnosť ovládania ±0,01 stupňa

② Kontrola teploty kvapaliny-obsahujúcej fluór

Pre podrobné informácie kontaktujte prosím obchodné zastúpenie.

Presný regulátor teploty stlačeného vzduchu série ACU

- Peltierov typ -

Presnosť regulácie teploty: ±0,01 stupňa

Rozsah regulácie teploty: 15 ~ 40 stupňov (ACU2000B)

Prietok: 30~2100 l/min

Riadená kvapalina: stlačený vzduch

Príklady použitia: Expozičné stroje, zariadenia na elektrónovú litografiu atď.

Regulátor teploty ventilácie série APE