Ako sú vykurovacie platne certifikované, aby spĺňali SEMI normy pre zariadenia na výrobu polovodičov?

Výroba polovodičov vyžaduje veľkú čistotu a čistotu materiálov. Vyhrievacie platne používané v zariadeniach na spracovanie plátkov musia spĺňať veľmi prísne kritériá SEMI, ktoré idú oveľa nad rámec základnej elektrickej bezpečnosti a zahŕňajú odplyňovanie, tvorbu častíc a kompatibilitu materiálov.

Čo sú SEMI štandardy
SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) je medzinárodné obchodné združenie, ktoré vytvára štandardy na zabezpečenie kvality, bezpečnosti a environmentálnej kompatibility zariadení na výrobu polovodičov. Tieto kritériá sú nevyhnutné pre čistotu a výkon potrebný pri výrobe polovodičov. Normy SEMI pokrývajú široké spektrum tém vrátane bezpečnosti zariadení (S2), environmentálnej kompatibility (S8) a špecifických požiadaviek na materiál-. Pokiaľ ide o ohrievacie platne, súlad SEMI znamená, že spĺňajú vysoké štandardy čistoty požadované pre výrobu polovodičov.

SEMI štandardný kľúč pre vykurovacie platne
SEMI S2 - Bezpečnosť zariadení
SEMI S2 stanovuje všeobecné bezpečnostné pravidlá pre polovodičové zariadenia, aby sa zabezpečilo bezpečné používanie vykurovacích platní vo výrobnom prostredí. . Súlad so SEMI S2 je overený hodnotením tretej strany-, ktoré vykonáva certifikovaný hodnotiteľ SEMI S2. Norma pokrýva elektrickú bezpečnosť, mechanickú integritu a všeobecnú prevádzku zariadenia.

SEMI S3 - Bezpečnostné pokyny pre vyhrievané chemické kúpele
SEMI S3 sa týka bezpečnosti zariadení vo vyhrievaných chemických kúpeľoch. Táto norma zaručuje, že vykurovacie platne, používané v systémoch chemického spracovania, nepredstavujú bezpečnostné riziká alebo prevádzkovú neefektívnosť. Zahŕňa tiež materiály a štruktúru, aby sa zabránilo kontaminácii horúcim chemickým roztokom.

Špecifikácia SEMI F{0}} pre polymérne materiály v systémoch ultračistej vody a kvapalných chemikálií
SEMI F57 definuje štandardy pre polymérne materiály, vrátane povlakov na vyhrievacích platniach, v kontakte s ultra čistou vodou a tekutými chemikáliami. Táto norma zaručuje, že materiály používané v zariadeniach na výrobu polovodičov sú kompatibilné s ultra-čistými kvapalinami a neovplyvňujú čistotu procesu.

Certifikačné normy pre vykurovacie platne
Vyhrievacie dosky v polovodičových zariadeniach musia byť prísne testované podľa noriem SEMI. Tieto testy súvisia s vlastnosťami materiálu, odolnosťou voči kontaminantom a chemickou kompatibilitou:

Odplyňovanie (ASTM E 595)
Odplyňovanie je emisia prchavých chemikálií z materiálov ohrievacej platne pri zahrievaní. Pri výrobe polovodičov môže kontaminácia v prostredí čistých priestorov viesť k poruchám v polovodičových zariadeniach, a to aj pri nepatrných úrovniach uvoľňovania plynov. Vyhrievacie dosky vyrobené z materiálov, ako sú povlaky PTFE a PFA, musia byť testované na odplyňovanie podľa požiadaviek ASTM E595, aby sa zaručilo, že počas prevádzky neuvoľňujú nebezpečné zlúčeniny.

Častice padajú-
Vyhrievacie platne by mali byť skonštruované tak, aby sa minimalizovalo vytváranie častíc, ktoré môžu kontaminovať plátok alebo chemické operácie. Akýkoľvek materiál, ktorý môže prísť do kontaktu s procesnými tekutinami, sa musí skontrolovať, aby sa zabezpečilo, že neuvoľňuje častice na úroveň, ktorá bude narúšať jemné výrobné procesy v polovodičových továrňach.

Odolnosť voči procesným chemikáliám
Vyhrievacie platne pri výrobe polovodičov sú často vystavené nepriateľským látkam, ako sú kyseliny, rozpúšťadlá a ultračistá voda. Tieto materiály musia byť odolné voči korózii a odolné voči degradácii za jedinečných okolností procesu výroby polovodičov. Povlaky PTFE a PFA sú široko používané na vyhrievacích platniach vďaka ich vynikajúcej chemickej odolnosti, ktorá zaisťuje zachovanie integrity vyhrievacieho povrchu bez vnášania akýchkoľvek nečistôt.

SEMI normy pre vyhrievané dosky a skľučovadlá Dôležité SEMI normy SEMI S2 - Bezpečnosť zariadení (všeobecné bezpečnostné požiadavky)

SEMI S3 - Bezpečnostné pokyny pre chemický ohrievač kúpeľa

Špecifikácia SEMI F{0}} pre polymérne materiály v systémoch ultračistej vody a kvapalných chemikálií

ASTM E595 Testovacia metóda odplynenia

SEMI F47 – Odporúčané postupy pre zariadenia na výrobu polovodičov

Záver
SEMI je štandardom, že vykurovacie platne používané v polovodičových zariadeniach musia spĺňať normy čistoty a bezpečnosti polovodičového priemyslu. Vyhrievacie platne sú certifikované bez kovovej kontaminácie, minimalizujú uvoľňovanie častíc a spĺňajú predpisy o odplyňovaní na ochranu procesu výroby polovodičov. Špecifické sektory vyvíjajú svoje vlastné špecifické normy, aby splnili svoje konkrétne technické potreby. Súlad s týmito normami zaisťuje, že zariadenie spĺňa prísne-požiadavky na vysoký výkon v polovodičovom priemysle.