Vysvetlenie technológie kalibrácie teploty pre teplomer vo vysokoteplotnej žíhacej peci

Uvádza sa, že vysokoteplotná žíhacia pec využíva riadiaci systém s uzavretou slučkou zložený zo zrýchleného digitálneho regulátora teploty PLD, termočlánku, pyrometra a zdroja tepla na správne riadenie teploty. Spoločným riadením halogénových žiaroviek v rôznych oblastiach môže byť teplotný rozdiel v každej oblasti kompenzovaný počas procesu regulácie teploty, pričom sa teplota rôznych oblastí na substráte udržiava nezmenená. Vďaka svojej inštalácii na dne dutiny môže pyrometer prijímať žiarenie iba zo zadnej strany substrátu a nemôže prijímať žiarenie z lampy. Preto môže pyrometer presne merať teplotu substrátu. Princíp teplotnej kalibrácie tohto pyrometra je nasledujúci:
1. Úvod do pyrometra:
Pyrometer predstavený v tomto článku je optický pyrometer s tepelným žiarením. Keď pyrometer prijme infračervené žiarenie z meraného objektu, optický signál je filtrovaný, fotoelektricky konvertovaný a zosilnený na analógový signál, ktorý je potom prenášaný do modulu obvodu signálového rozhrania snímača. Tento modul vykonáva A/D konverziu signálu a prevádza ho na digitálny signál, ktorý dokáže rozpoznať počítač. Digitálny signál privádzaný späť do počítača sa v nasledujúcom texte označuje ako hodnota spätnej väzby pyrometra.
2. Tabuľka kalibrácie teploty:
Podľa príslušných zákonov súvisí teplota objektu s jeho žiarením a spektrálnou emisivitou. Pre vysokoteplotné žíhacie pece množstvo žiarenia prijatého pyrometrom závisí hlavne od faktorov, ako je materiál substrátu, dopovanie, prirodzená vrstva oxidu na povrchu a teplota substrátu. Pre rovnaký typ substrátu (tj substráty s rovnakým materiálom, dopingom a povrchovou prírodnou oxidovou vrstvou) množstvo žiarenia prijatého pyrometrom súvisí s teplotou substrátu. Preto pre rovnaký typ substrátu spätná hodnota pyrometra zodpovedá jedna k jednej teplote substrátu. Táto korešpondencia predstavuje údaje o kalibrácii teploty a tabuľka kalibrácie teploty sa používa na uloženie údajov o vzťahu medzi viacerými teplotami substrátu a hodnotami spätnej väzby z pyrometra. Rôznym teplotám zodpovedajú rôzne hodnoty spätnej väzby pyrometra. Počítač pece pre vysokoteplotné žíhanie dokáže vypočítať skutočnú teplotu substrátu na základe spätnej väzby hodnoty signálu z pyrometra a tabuľky kalibrácie teploty.