Elektrotermické pokovovanie trubíc Magnetrónové naprašovanie

Elektrotermické pokovovanie trubíc Magnetrónové naprašovanie

Magnetrónové naprašovanie je nový typ technológie naprašovania, ktorá sa rýchlo vyvinula v 70. rokoch minulého storočia. Vyznačuje sa vytvorením prstencového magnetického terča na povrchu katódového terča na riadenie pohybu sekundárnych elektrónov. Vplyvom elektromagnetického poľa sú sekundárne elektróny generované bombardovaním iónmi na cieľovom povrchu stlačené blízko cieľového povrchu pre pohyb cyklotrónu, čím sa predĺži vzdialenosť k anóde, čo výrazne zlepší pravdepodobnosť kolízie s atómami plynu, a tým zlepší rýchlosť rozprašovania. . V súčasnosti sa magnetrónové naprašovanie uplatňuje v priemyselnej výrobe. Je to preto, že rýchlosť nanášania magnetrónového naprašovania je rádovo vyššia ako rýchlosť bipolárneho naprašovania a má výhody vysokej rýchlosti nanášania, nízkeho nárastu teploty substrátu a malého poškodenia filmu. V roku 1974 Chapin vynašiel planárny magnetrónový rozprašovací terč vhodný pre priemyselné aplikácie, ktorý podporil vstup do výrobnej oblasti.

reaktívne naprašovanie

Pri metóde naprašovania, ak je terč vyrobený na zlúčeninu na vytvorenie zloženého filmu, zloženie vyrobeného filmu sa vo všeobecnosti výrazne líši od zloženia cieľovej zlúčeniny. V tomto bode môže aktívne primiešavanie aktívneho plynu do výbojového plynu kontrolovať zloženie a vlastnosti výsledného tenkého filmu, čo sa nazýva metóda reaktívneho naprašovania. Používa sa hlavne na výrobu izolačných fólií a možno ho dosiahnuť pomocou dvoch metód naprašovania: bipolárneho DC a RF. Jeho skutočné zariadenie sa príliš nelíši od bipolárneho naprašovania a RF naprašovania, s výnimkou nastavenia dvoch vstupných otvorov pre plyn a ohrevu substrátu na 500 °C za účelom zmiešavania plynov. Naprašovanie je najjednoduchší spôsob kontroly zloženia zliatiny v technológii fyzikálneho naparovania. Zliatinový film možno nanášať spoločným naprašovaním s viacerými terčami a pokiaľ sú kontrolované parametre naprašovania každého terča, možno získať určité zloženie zliatinového filmu. Zliatinový film možno tiež priamo naprašovať pomocou zliatinového terča bez akýchkoľvek kontrolných opatrení a možno získať zliatinový film s presne rovnakým zložením ako materiál terča. Hoci rôzne zložky zliatiny majú výrazne odlišné koeficienty naprašovania, počas procesu naprašovania po určitom čase komponent s najvyššou rýchlosťou naprašovania uprednostňuje naprašovanie a povrch materiálu terča bude obohatený o ďalšie komponenty, kým sa nestabilizuje. dosiahne sa zloženie povrchu. Výsledné získané zloženie filmu bude rovnaké ako cieľový materiál.

www.superbheater.com