Spôsob čistenia a prístrojová metóda ultrazvukového čistiaceho stroja monokryštalického kremíka

Spôsob čistenia a prístrojová metóda ultrazvukového čistiaceho stroja monokryštalického kremíka

S rozvojom technológie polovodičových materiálov sa kladú vyššie požiadavky aj na špecifikáciu a kvalitu kremíkových doštičiek. Dopyt trhu po kremíkových doštičkách s veľkým priemerom vhodných na mikrospracovanie bude stále viac narastať. Polovodičové, čipové, integrované obvody, dizajn, rozloženie, čip, výroba a proces V súčasnosti sú vo svete široko používané pokročilé procesy rezania, brúsenia, leštenia a čistého balenia, ktoré výrazne pokročili vo výrobnej technológii. Zavedením najnovšej špičkovej technológie sa skúšobná výroba a vývoj vysokovýkonných čipov ako SOI dostali aj do štádia sériovej výroby. V reakcii na to výrobcovia kremíkových plátkov tiež zvýšili svoje investície do zariadenia na výrobu 300 mm kremíkových plátkov, aby ďalej spresnili pravidlá dizajnu. Pomocou technológie ultrazvukového čistenia sa počas procesu čistenia ultrazvuková frekvencia pohybuje tam a späť v primeranom rozsahu, čím poháňa čistiacu kvapalinu tak, aby vytvorila jemný spätný tok, čo umožňuje rýchle odstránenie nečistôt z obrobku z povrchu obrobku pri lúpaní ultrazvukom, čo zlepšuje čistenie efektívnosť.

Spôsob čistenia a spôsob zariadenia

Umyté a pomleté ​​kremíkové plátky umiestnite vodorovne na rám z kremennej tyče v tvare plota nad dnom čistiacej nádrže. Pod podmienkou, že je v čistiacej nádrži vysoká hladina deionizovanej vody a nepretržitý prietok, použite na čistenie ultrazvukový vibrátor umiestnený na dne čistiacej nádrže. Frekvencia ultrazvuku je 40 kHz. Otočte mleté ​​kremíkové doštičky každých 5 minút a pokračujte v premývaní, kým z povrchu mletých kremíkových doštičiek počas premývania nevychádzajú žiadne čierne znečisťujúce látky.

Spodná stena rámu z monokryštalického kremíka v zariadení je kremenná tyč v tvare plotu a celý rám je podopretý v čistiacej nádrži opornými nožičkami. Po vertikálnom a horizontálnom premývaní podľa tohto vynálezu rieši problém miestnych ťažkostí pri čistení v dôsledku nerovnakej vzdialenosti medzi kremíkovým plátkom a ultrazvukovým zdrojom a ľahkého hromadenia znečisťujúcich látok v spodnej časti povrchu kremíka. oblátka. Tiež eliminuje jav, že mäkký kvetinový kôš vyrobený z polytetrafluórového materiálu, ktorý nesie kremíkový plátok, môže absorbovať a blokovať prenos zdroja ultrazvukových vĺn, čo spôsobuje, že miestne oblasti na povrchu kremíkového plátku sú nečisté.

www.superbheater.com